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　　相對(duì)濕度，指空氣中水汽壓與相同溫度下飽和水汽壓的百分比。而潔凈室相對(duì)濕度操控欠好，就有可能使?jié)崈羰艺w體現(xiàn)下降，而且還會(huì)帶來(lái)以下這些一系列的影響。那我們一起來(lái)看看潔凈室相對(duì)濕度操控欠好會(huì)有什么具體的影響吧！

　?。?、細(xì)菌成長(zhǎng)

　　細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng)）在相對(duì)濕度超越６０％的環(huán)境中能夠活潑地繁衍。一些菌群在相對(duì)濕度超越３０％時(shí)就能夠添加。而相對(duì)濕度處于４０％至６０％的規(guī)模之間時(shí)，能夠使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以無(wú)塵車(chē)間的相對(duì)濕度需要操控在必定規(guī)模。

　?。?、簡(jiǎn)單形成潔凈室里的金屬腐蝕

　　很多化學(xué)反響的速度，包括腐蝕過(guò)程，將跟著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車(chē)間周?chē)諝庵械耐獗矶己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。一些金屬，例如鋁，能夠與水形成一層維護(hù)型的氧化物，并阻撓進(jìn)一步的氧化反響；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的。在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更簡(jiǎn)單遭到腐蝕。

　?。?、呈現(xiàn)靜電荷

　　當(dāng)相對(duì)濕度超越５０％時(shí)，靜電荷開(kāi)端敏捷散失，可是當(dāng)相對(duì)濕度小于３０％時(shí)，它們能夠在絕緣體或者未接地的外表上繼續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。潔凈室相對(duì)濕度在３５％到４０％之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間一般都使用額定的操控裝置以限制靜電荷的積累。

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　　相對(duì)濕度操控欠好，對(duì)潔凈室吸水性產(chǎn)出必定的影響。

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　　在相對(duì)濕度較高的潔凈室環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和外表之間形成了連接鍵，能夠添加顆粒與硅質(zhì)外表的黏附力。這種效應(yīng)稱(chēng)為凱爾文濃縮，便是當(dāng)相對(duì)濕度小于５０％時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在７０％左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的首要力量。

　?。?、人體皮膚枯燥

　　如果潔凈車(chē)間濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于３０％則會(huì)讓人感覺(jué)枯燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　?。贰崈糗?chē)間光刻的退化

　　在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間中最迫切需要適度操控的是光刻膠的敏感性。因?yàn)楣饪棠z對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的操控規(guī)模的要求是最嚴(yán)格的。相對(duì)濕度和溫度關(guān)于光刻膠穩(wěn)定性以及準(zhǔn)確的尺度操控都是很關(guān)鍵的。乃至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將跟著相對(duì)濕度的上升而敏捷下降。當(dāng)然，改動(dòng)粘性，就會(huì)改動(dòng)由固定組分涂層形成的維護(hù)膜的厚度。

　　此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，因?yàn)樗值奈?，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力相同也能夠遭到較高的相對(duì)濕度的負(fù)面影響；較低的相對(duì)濕度（約３０％）使光刻膠附著愈加簡(jiǎn)單，乃至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷（ＨＭＤＳ）。

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